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ST5030-SL
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·标准模型
·工业规格 ·自动的X-Y平台 ·自动调焦 ·半导体和裂变产物探测 |
| 尺寸 | 500 x 750 x 650 mm |
| 重量 | 80Kg |
| 类型 | 自动 |
| 测量型号 | ≤ 4" |
| 测量方法 | 无连接的 |
| 测量原理 | 反射计 |
| 特征 |
测量迅速，操作简单 非接触式，非***方式
***的重复性和再现性
2D/3D 映射和造型
自动机械活动控制
电荷耦合器件照相机
自动调焦
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| 活动范围 | 300mm x 300mm |
| 测量范围 | 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) |
| 光斑尺寸 | 40㎛/20㎛,4㎛(option) |
| 测量速度 | 1~2 sec./site (fitting time) |
| 应用领域 | All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Large Size Wafer Measure |
| 选择 | Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST) Anti-vibration table |
| 接物镜转换器 | Quintuple Revolving Nosepiecs |
| 焦点 | Coaxial Coarse and Fine Focus Controls |
| 附带照明 | 12v 100W Halogen Lamp |