




抛光皮的加工原理
1.聚胺脂抛光片肖式硬度的不同
根据镜片的磨耗度的不同选择相对应的肖式硬度的聚胺脂抛光片,水松皮批发价,肖式硬度数值越大越硬。
2.聚胺脂抛光片填充物不同 聚胺脂抛光片里的填充物(氧化***、氧化锆)的添加是微量加入,填充物的种类不决定所用的抛光粉,水松皮,例如:氧化***可以与含有氧化锆填充剂的抛光片配合使用或者是相反。 含有氧化***的抛光片——主要表现为提高抛光速率。 含有氧化锆的抛光片——主要表现为提高光洁度。 不含有填充剂的抛光片——主要表现为抛光过程中的光圈稳定。
在CMP中,抛光皮具有以下功能:
用于CMP的抛光皮必须具有良好的化学稳定性(耐腐蚀性)、亲水性以及机械力学特性。抛光皮通常可分为硬质和软质(弹性、粘弹性)两种。
硬质抛光皮可较好地保证工件表面的平面度
软质抛光皮可获得加工变质层和表面粗糙度都很小的抛光表面
用于CMP过程的硬质抛光皮有各种粗布垫、纤维织物垫、聚乙烯垫等,软质抛光皮主要有聚氨酯垫、细毛毡垫、各种绒毛布垫等。
抛光皮机械物理性能及其对抛光效果的影响
抛光皮的硬度、弹性模量、可压缩性等不同参数对抛光的效果有什么影响呢?接下来晨鑫详细讲解下其中的影响
抛光皮的硬度决定了其保持形状精度的能力,不同材质的抛光皮具有不同的硬度。采用硬质抛光皮可获得较好工件表面的平面度,软质抛光皮可获得加工变质层和表面粗糙度都很小的抛光表面。
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