结构简单,体积小,通过以***少的零部件数量来实现我们的直线驱动,而且这仅仅是只存在一个运动的部件.运行的行程在理论上是不受任何限制的,而且其性能不会因为其行程的大小改变而受到影响.其运转可以提供很宽的转速运行范围,其涵盖包括从每秒几微米到数米,特别是在高速状态下是其一个突出的优点.加速度很大,***大可达10g.运动平稳,这是因为除了起支撑作用的直线导轨或气浮轴承外,没有其它机械连接或转换装置的缘故.精度和重复精度高,因为消除了影响精度的中间环节,系统的精度取决于位置检测元件,有合适的反馈装置可达亚微米级.维护简单,由于部件少,运动时无机械接触,从而大大降低了零部件的磨损,只需很少甚至无需维护,使用寿命更长。