自1970年Aerotech开始研制***高性能的运动控制产品和精密***系统，这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、***及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及***设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，航空和国防，电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。
Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值，我们的座右铭是：Dedicated to the Science of Motion。
1专为高性能校准和装配应用设计 1专为高性能扫描和检测应用设计 1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计 1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计 1专为有效负载大,负载***偏离机架中心线的应用设计 1世上***高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合 1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计 1气浮导轨实现超平滑运动
2分辨率达2nm的直线编码器反馈
3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)
4全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5低噪音线性放大器
6全部非接触设计
行程≤150mm
精度&plu***n;0.20um
重复***精度&plu***n;0.05um
直线度&plu***n;0.25um
平面度&plu***n;0.25um
2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈
3全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4大负载高刚性几何特性***
行程≤500mm
精度&plu***n;0.20um
重复***精度&plu***n;0.10um
直线度&plu***n;0.25um
平面度&plu***n;0.25um
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度&plu***n;0.50um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.25um
平面度&plu***n;0.25um
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度&plu***n;1um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.50um
平面度&plu***n;1um
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性***
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
行程≤1000mm
精度&plu***n;0.50um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.40um
平面度&plu***n;0.40um
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度&plu***n;0.50um
重复***精度&plu***n;0.10um
直线度&plu***n;0.50um
平面度&plu***n;0.50um
2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承
3行程达
4双直线电机驱动步进轴
5直线编码器或激光干涉仪反馈
行程≤350mm
精度&plu***n;1.0um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.60um
平面度&plu***n;0.60um
2所有轴都预加载荷
3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3行程达1mx1m
4非接触直线编码器(光栅)
5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．