ABRT超精密转台
1专为硅片检测,X射线衍射系统,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性,波动率低于万分之一(电机无接头效应)
4卓越的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
双向重复定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
异步轴跳 <20nm
异步径跳 <20nm
ARMS超精密模拟仿真转台
1. 为超高精度运动而设计。
2. 无刷力矩电机直接驱动,可选更高速度和力矩电机。
3. 突出的速度稳定性。
4. 卓越的运动性能,误差小,无抖动
5. 有效载荷达
6. 预装有集流环
台面直径:146~
反馈分辨率:0.02~4 arc sec
双向重复定位精度 0.5 arc sec
定位精度 2.5 arc sec
速度波动率 0.0001%
ABRS超精密转台
ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓,并且能够提供出众的角度定位精度,卓越的速度稳定性以及极小的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测,高精度测量,激光衍射系统,光学检测和制造以及纳米制造技术。
特点:
1. 无刷无槽力矩电机直接驱动
2. 卓越的速度稳定性(无齿槽效应)
3. 极佳的运动性能,误差小,无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 扁平结构设计
6. 气浮轴承,无机械接触
台面直径:128~
反馈分辨率:0.036~0.18 arc sec
双向重复定位精度:<1arc sec
定位精度: 2 arc sec
异步轴跳: 20nm
异步径跳: 20nm
ADR系列精密转台
ADR系列直接驱动转台提供精确的角度定位和速度控制。应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。
特点:
1. 无刷力矩电机直接驱动
2. 无齿槽设计提供卓越的速度稳定性
3. 极佳的运动性能,误差小,无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 高精度机械轴承支撑
6. 最大载荷可达
台面直径:57~
反馈分辨率:0.036~13 arc sec
双向重复定位精度: 1arc sec
定位精度: 2 arc sec
轴跳: 0.5um
径跳: 1um
AOM360D光电跟踪转台
AOM360D全方位定位装置能够提供最精确的方位角和仰角值。军工级品质的电机,轴承和传感器组合而成的机架装置保证了整体的最佳性能。AOM360D被应用于使用传感器和光学设备对方位角和仰角值进行自动检测。其他应用包括方位校准,激光束指引,目标捕获及跟踪,照相机和光电望远镜的扫描和定位。
特点:
1. 所有轴均可360度旋转
2. 超精确的定位精度和双向重复定位精度
3. 超低的轴向摆动及正交性
4. 无刷无槽力矩电机直接驱动
5. 高精度圆光栅反馈
6. 无齿槽设计提供卓越的速度稳定性
7. 热稳定性好于0.4 arc sec/摄氏度
8. 负载直径可达
9. 可以用于真空环境
负载直径193-485mm
负载质量 20~
分辨率0.055arcsec
双向重复定位精度1arcsec
定位精度 2 arc sec
方位角摆动 3 arc sec
仰角摆动 5 arc sec