如何正确运用激光干涉仪提高数控深孔钻机床***精度
负坡度：
负坡度曲线向外运行和向内运行两个测试均出现向下的坡度。在整个轴线长度上，误差呈线性负增加，高精度激光干涉仪价格，这表示激光系统测量的距离短于机床位置反馈系统指示的距离。
出现负坡度的可能原因有以下两种：(1)光束准直调整不正确。如果轴线短于1m则可能是材料热膨胀补偿系数不正确、材料温度测量不正确或者波长补偿不正确。(2)俯仰和扭摆造成阿贝偏置误差、机床线性误差。
针对以上问题，可采取的措施有：如果轴线行程很短，检查激光的准直情况；检查EC10和测量头是否已连接并有反应；检查输入的手动环境数据是否正确；检查材料传感器是否正确***以及输入的膨胀系数是否正确；使用角度光学镜组重新做一次测量，检查机床的俯仰和扭摆误差。
激光干涉仪的开发，给机床工业提供了高精度的标准，适用于各种型号和规格的机床。
使用激光干涉仪测量，必须要考虑到的误差源：
一、 环境误差。激光干涉仪的绝1对精度取决于周围条件的精1确程度（或者说环境的稳定程度）。环境温度每产生1℃的变化，绝1对压力每产生2.5mmHg或相对湿度每产生30%的误差时，都将会导致约1PPM（百万分子一）的测量误差。这些误差利用人工补偿或激光干涉仪所配的自动补偿装置可部分克服。因此检测期间保持这些条件的稳定非常重要。
二、 机床表面温度。即机床本身温度变化的影响。对于用钢制丝杠***滑鞍的机床，丝杠理论热膨胀系数为10.8PPM/℃，即温度每升高1℃，他将膨胀近10.8微米/米。
激光干涉仪调光步骤及技巧
直线度测量
光学组件：直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只。
测量原理：激光头的输出光束穿过直线度干涉镜后，被分裂成两束夹角较小的光束，这两束光成一个微小的角度。然后，经直线度反射镜反射后沿一条新的光路返回到直线度干涉镜，该两束光束在直线度干涉镜处汇合成一束光束，并返回激光头的回光孔。直线度测量是通过检查干涉镜和反射镜的相对横向位移引起的光程差来实现的，直线度测量可以在水平面或垂直面内进行，它取决于直线度干涉镜和直线度反射镜的***方向。
光学器件安装：
短距离直线度测量，行程近端时固定光学元件与移动光学元件之间的距离至少为0.1m，而长距离直线度测量时该距离***少为1m。
垂直直线度偏差测量光路校准步骤：
1、放置好激光头，芜湖激光干涉仪，安装好直线度光闸。
2、将干涉镜表面旋转90度（小孔在右边），借助直线度干涉镜上的小光孔将激光近、远两端拉直。
3、放置直线度反射镜，检测其顶面是否水平。在直线度反射镜中间刻度线处安装一光靶，光靶小光孔与干涉镜小光孔同侧，只调节直线度反射镜，使激光正对光靶小光孔。
4、将干涉镜旋转90度，高精度激光干涉仪价格，去除光靶。细微旋转干涉镜表面使反射回光闸的两束光线聚焦，高精度激光干涉仪价格，调节直线度反射镜上旋钮将汇合后的光束对准直线度光闸的回光孔。
5、检查激光头，近、远两端光强是否一致。（可微调俯仰、扭摆、左右，寻找返回光束光强***1大位置。）
6、人工去除斜率误差。
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