




抛光垫的密度、剪切模量、可压缩性与硬度、韧性、刚性、弹性模量等机械物理性能对抛光质量、材料去除率和抛光垫的寿命有着明显的影响。
抛光垫表面是较为粗糙的一层,抛光皮,磨擦系数较大,抛光皮哪家好,所以一般抛光垫在使用之前往往切削力很好,但是使用一段时间就发现切削力急速好降直至不能使用,这是为何?有什么办法可以提高使用寿命?
其实这提高抛光垫的使用寿命可从五个方面考虑:
选用硬度较高的抛光垫,一般来说越硬的产品磨损越慢,当然这有个限制,超过一定的硬度先不说生产上的问题,是否符合生产还是个问题。比如一般使用78硬度的抛光垫,抛光皮哪家好,你可以偿试采用82、85等硬度的抛光皮进行测试。
使用抛光垫前进行抛光垫润滑操作。对抛光垫在无压力状态下,抛光皮哪家好,抛光液均匀的涂沫在抛光垫的。使抛光垫在初使用过程中不至于无缝磨擦造成快速磨损。经过抛光液本身的载体润滑作用,大大的减轻了抛光垫的负担,进行增加了其使用寿命。
使用润滑性能良好的抛光液,一般的抛光液直接就是纯净水按比例兑换后使用,这是非常不合理的。这样不但无法发挥抛光液本身的抛光性能,而且会加速抛光垫的磨损、软化抛光垫表面。这是非常不科学的操作方法。
叠加型抛光皮中硬度、刚性高和可压缩性较高的顶层可有效去除工件表面凸起部分,但工件(晶片)的不均匀性增大;硬度、刚性和可压缩性较低的底层使抛光皮与工件间有较大范围的贴合接触,抛光后晶片不均匀性小,抛光皮材料的密度和表面形状等对抛光皮的***终机械特性有重要影响。动态性能分析(DMA)抛光皮表面的槽方向对抛光皮的热性能和力学性能的影响的结果表明:当槽位于矩形测试样件的长轴方向时,抛光皮的刚性高。
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