圆晶硅片清洗机
品牌：《南轩电子》设备用于3”4“5”6“8”硅片的规模生产，产品一致性好，技术***。 ⑴整机采用德国进口磁白色PP板焊接而成，本机每槽可同时清洗2个花篮。本设备外型美观，耐酸性能好，操作方便，运行可靠，是半导体生产线理想的硅片清洗设备。 ⑵本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。 ⑶工艺过程全自动，机械手在槽间转换靠PLC来控制，美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。 ⑷除装片和取片需人工外，其余工艺动作均由机械手来实现，适用于连续批量生产。 ⑸机台内设***过滤器，满足净化工作区工作（1000级~100级，10级为特级）。⑹人机界面为触摸屏，有安全保护故障代码，故障报警，工艺时序号，方便操作、易于维护。有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：马胜南15010795119，010-52103382。
硅棒清洗设备
品牌：《南轩电子》分为电器部分、箱体部分、隔离门部分、在线加热部分、喷淋部分、喷淋装置的上下移动部分、管路部分、抽风部分。 1．本设备为柜体式，外箱体为德国磁白PP，内箱体为德国PVDF，操作面带有德国透明PVC门窗。 2．清洗满足工艺：上料→热冷DI水冲洗→下料DI水压力：3kg/cm2DI水加热温度：75°~85° 3．冷热水喷淋方式：自动控制 4．管路部分： ⑴气动阀采用德国产，执行机构与流体隔离，流体接触材质为PVDF，用于DI水的气动阀。 ⑵美国进口在线加热器与DI水接触处采用PVDF材料，防止DI水的污染。有过热保护装置。 5．电控部分：置于机台的右上方，配有紧急停机及报警装置，电控部分采用密封保护方式。 6．排风装置：排风为后排和上排的双重形式。 有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：马胜南15010795119，010-52103382。
半导体分立器件RCA硅晶圆片湿法刻蚀清洗机
品牌：《南轩电子》适用于去除硅晶圆片工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。设备由清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机部分组成。清洗槽部分由***槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。关键件均采用进口原件，包括气动阀，PFA管道，全氟循环系统等，保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。 整体采用德国进口工程塑料焊接组合加工而成，结构合理，外型美观。工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。人机界面为触摸屏，方便直观，操作简便。.除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。设备适用于微电子半导体行业，也适合于高校化学实验室作实验湿台、腐蚀台。非标规格，具体规格依客户工艺确定。有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：马胜南15010795119，010-52103382。
