呼和浩特特种气体-安徽谱纯特种气体-电子特种气体

特种气体中单元高纯气体的品种及用途

特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体，另一类为混合气体。对于单元高纯气体，根据现已收集到的文献，汇总起来共有227种，可分成五个类别: 一、电子气体，电子特种气体，共85种(序号1～85)，特种气体厂，占总数的36.3％; 二、有机气体，共61种(序号86～146)，占总数的27.8％; 三、无机气体，呼和浩特特种气体，共35种(序号147～181)，特种气体厂家，占总数的15.5％;

电子特种气体种类多样行业集中度高，细分领域整合开启进口替代新征程。2016 年***半导体行业用电子特种气体市场规模达到 36.8 亿美元，同比增长 5.7%；国内方面集成电路用电子特种气体需求约为 25 亿元，预计到 2020 年将突破 68 亿元。电子特种气体行业集中度高，以美国空气化工、美国普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气和日本大阳日酸株式会社为首的五大气体公司占有*** 90%以上的电子特种气体市场份额。

电子特种气体种类多，应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积极布局的方向。特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。