特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体，另一类为混合气体。
气体产品大致可以分为两大类别， 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业气体一般要求生产量大， 但对气体的纯度要求不高。特种气体则是用途有别于一般气体的气体，特种气体公司，是一个笼统的概念。它在纯度、品种、性能等方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。一般认为， 它是由电子气体、高纯石油化工气体、标准混合气体组成。
我国特种气体生产技术与国外的差距
论述了工业用标准气，特种气体供应，环保气，大规模集成电路、光导纤维、非晶硅太阳电池制造用电子气，MOCVD的源材料—金属有机化合物，以及电子气配套器件国***研、生产和制造的技术水平及其与国外的差距，特种气体厂，指出配套器件技术水平与国外的差距比特种气体技术水平与国外的差距还要大，仅约相当于国外70年代中末期水平，而标准气约相当于国外80年代初中期水平，电子气则相当于国外80年代初期水平。特气生产技术关键是气体纯化技术及高纯或瞄蚀性气体包装技术等。为加速电子气国产化进程，提出了6项政策性措施。
应用于LED产业的特种气体
半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：
1、硅族气体：含硅基的硅3烷类，如硅3烷、二氯二氢硅、乙硅1烷等
2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、3氟化3硼、磷烷、shen烷等。
3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，西安特种气体，如氯1气、三氟化氮、xiu化氢、四氟化碳、六氟乙1烷等。
4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、***1基jia。
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