Veritas-300+大型样品仓扫描电镜属于驰奔仪器第二代钨丝枪扫描电镜系列。
Veritas-300+是全数字化控制，***级电子显微成像分析仪器。Veritas-300+采用大型立方体样品分析室（分析室可定制），全内置五轴优中心自动样品台，为大块样品如零部件整体检测，为微纳米尺度操作工具之拓展分析提供多种可能。300+型扫描电镜，具有高低真空功能，BSE探测器低真空模式，非导电样品可直接成像。
硬件特征：
● 全数字***级、拓展能力极强的大型样品仓扫描电镜
● 高分辨成像能力，满足微米亚微米尺度形貌及化学成分衬度快速表征；
● 五轴全自动优中心样品台，原位观察，大批量分析测试，***率；
● 低真空环境绝缘体可直接观察
● 一体化设计，可随时移动。
大型样品仓
安装示意
性能指标：
|
型号 |
Veritas-300plus大型分析扫描电镜 |
|
样品台 |
五轴优中心，计算导航，五轴全自动控制 X: 120mm Y: 120mm Z: 5-65mm R: 360°无限 T: -20°~90° |
|
电子枪 |
预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
|
加速电压 |
200V-30KV |
|
探测器 |
ET-SED，Solid State Bse detector |
|
物镜光阑 |
20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
|
分辨率 |
4nm @30KV ( SEI) |
|
放大倍数 |
10-300,000 X |
|
样品室 |
内部尺寸 230（W）x210（D）x260（H)mm ，Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
|
***大样品尺寸 |
Φ210mm X 65mm |
|
工作距离 |
0-65mm |
|
扫描光栅运动 |
电位移 &plu***n;50μm， 电旋转 0-360° |
|
扫描模式 |
聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变 TV模式：800x 600像素 慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。 照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、***大3200x2400像素 动态聚焦，倾斜补偿 |
|
图像格式 |
JPG、TIFF、bmp、PNG |
|
真空模式 |
高真空优于9x10-3Pa 低真空 10-230pa |
|
真空系统 |
全自动真空系统，真空高压连锁安全保护（高真空时间小于3分钟） -涡轮分子泵 |
|
自动功能 |
亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中，动态聚焦 |
|
软件系统 |
基于Win8，Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。 |
|
主机尺寸/重量 |
800(W）x825（D）x 1500（H）mm /200kg |
|
电源 |
单相交流 220V 、50Hz、1KW |
|
耗材附件 |
预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，专用工具 |
|
可选配置 |
四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束***装置 |