- 全新US无限远光学系统,明场/暗场/偏光观察方式。
- 长工作距离平场物镜,分辨率高,方便工件快速移动。
- 大型载物台可同时检查多个试样或6寸晶圆。
- 适用于电子/半导体/钢铁/金属等行业科研,质检。
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