等离子体净化技术是近年来的另一种废气治理新型技术。所谓“等离子体”，指气体在外界能量作用下，形成由电子、离子、光子、中性分子和***的分子组成的集合体，即为等离子体。等离子体空间富集了大量极活泼的高活性物种，如离子、电子、激发态的原子、分子及自由基等。这些高活性物种在普通的热化学反应中不易得到，但在等离子体中可源源不断地产生。对于有机物在等离子体中的氧化降解机理，万川环保等离子净化器利用介质放电产生的等离子以极快的速度反复轰击废气分子，去***、电离、裂解有机废气中的各种成分，通过氧化进行复杂的化学反应。
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