气瓶柜 gas cabinet (GC)
特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备,一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。
气瓶架 gas rack (GR)
特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备,一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。
我国特种气体生产技术与国外的差距
论述了工业用标准气,环保气,特种气体厂,大规模集成电路、光导纤维、非晶硅太阳电池制造用电子气,特种气体公司,MOCVD的源材料—金属有机化合物,特种气体生产厂家,以及电子气配套器件国***研、生产和制造的技术水平及其与国外的差距,指出配套器件技术水平与国外的差距比特种气体技术水平与国外的差距还要大,仅约相当于国外70年代中末期水平,而标准气约相当于国外80年代初中期水平,合肥特种气体,电子气则相当于国外80年代初期水平。特气生产技术关键是气体纯化技术及高纯或瞄蚀性气体包装技术等。为加速电子气国产化进程,提出了6项政策性措施。
特种气体:关于高纯CO及高纯CH4生产技术
(一)技术简介
该项技术利用化工、医1药等行业的各类废气资源生产高纯 CO 及高纯 CH4 技术,应用于特种气体领域。
(二)技术特点
1、产品纯度高
采用双塔精馏技术,克服变压吸附只能将纯度提至 99% 的行业技术难题。该技术是国内首套采用精馏装置生产高纯CO及 CH4的技术,能将 CO及 CH4产品纯度提高至 99.999%。
2、装置高度集成
装置采用 1台冷箱,同时具备生产高纯 CO及高纯 CH4 能力。
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