我国特种气体生产技术与国外的差距
论述了工业用标准气，环保气，大规模集成电路、光导纤维、非晶硅太阳电池制造用电子气，MOCVD的源材料—金属有机化合物，以及电子气配套器件国***研、生产和制造的技术水平及其与国外的差距，指出配套器件技术水平与国外的差距比特种气体技术水平与国外的差距还要大，仅约相当于国外70年代中末期水平，而标准气约相当于国外80年代初中期水平，电子气则相当于国外80年代初期水平。特气生产技术关键是气体纯化技术及高纯或瞄蚀性气体包装技术等。为加速电子气国产化进程，提出了6项政策性措施。
1、特种气体 specialily gas
用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2、特种气体系统 speciality gas system
特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
3、特种气体间 speciality gas room
是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
特种气体应用于国民经济的很多行业，西安特种气体， 它在电子行业、石油化工、医1药国防等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展， 无论在气体品种上，还是在数量上，特种气体多少钱， 都以***的速度发展， 生产的品种基本上满足了市场的需求，现如今我国特种气体从原来的完全依赖进口转向基本自给自足。尽管如此， 受诸多方面的影响， 我国特种气体无论在标准上、质量上、生产规模化上，特种气体厂家， 甚至生产成本上， 同发达***同行业相比， 仍存在一定的差距。
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