表面电阻率测试探针台
可测试12" 8" 6" 晶圆或者LCD基片
除了针对标准的2"~12" (50mm~300mm) 基片表面电阻率的测试，我们欢迎客户定制，定制之前请按照以下步骤先确定规格：
对于尺寸大于300mmx300mm的基片
1. 基片具体是哪一种材质？
2. 基片尺寸有多大？
3. 探针台选用下面哪一种移动方式？
a.) 基片固定，测试头可以水平移动和上下移动。
基片越大，越节省空间。
b.) 基片可以水平移动，测试头只能上下移动。
4. 采用哪一种驱动方式？ 手动测试，半自动化，或者选用自动化。
5. 测试时是否需要在特定温度？
对于需要高温环境的基片测试
基片加热台通过PID控制，可以设定测试温度。加热台通过右边的真空鼠形垫控制做环形移动。在某个位置时，打开真空按钮，真空垫会被吸附在平板上，加热台同时被锁***置，这时，4针探头可以下压测试。测试完毕，测试头升起，样品台移动到下一个测试位置。
1. ***高测试温度需要多高？ 150，300，400，500摄氏度？
2. 测试头选择手动下压还是气动下压？
3. 是否需要保护盒？
4. 是否需要水冷箱？