EMMI微光显微镜

介绍

Reltron ICS1000PEM 光子发射显微镜系统是模块化的结构，它实现了人性化的操作和非凡的测试精度。在***IC失效位置，正面和背侧观察方面ICS1000PEM几乎重新定义了光子发射显微检测法，它无比的简单，有效和***，是适合我们大家使用的***工具。

应用 

l   栅氧化层漏电

l  p-n 结漏电

l  热电子效应

l  CMOS闩锁效应

l  EOS/ESD 损伤

l  饱和MOS器件

l   模拟MOSFETs

 特点 

l　  前部照明的1.4兆像素增强型近红外相机; 珀尔贴风冷到 -45摄氏度

l　  可***波长范围更广的近红外光显微镜

l　  ICS1000 PEM 软件可运行在Windows XP Pro 或者Vista Business系统

l　  软件控制的5波段照明

l　  双通道吉时利源端和IV曲线测试软件

 可选择 

l  InGaAs相机; 珀尔贴风冷到 -50摄氏度.

l　  背部照明，深耗尽层相机; 珀尔贴风冷到-100摄氏度.

l  4通道吉时利源端和IV曲线测试软件

l  热点侦测

l  显微镜自动对焦，不同倍率镜头切换和X-Y方向***

l  黑箱

l  防震桌

l   探针台

l   器件温度控制器：快速升温，降温样品台

l   器件高压输入（可达5KV）和IV曲线测试软件