场发射扫描式电子显微镜(可远程遥控)(FE-SEM) 型号:MIRA II-LMH
技术参数
1.分辨率:高真空(SE)1.0nm at 30kV,1.2nm at 15kV
2.0nm at 3kV,3.5nm at 1kV
2.放大倍数:4 to 1000000x
3.真空系统:样品室<9*10 -3Pa,枪体真空<3*10 -7Pa
4.加速电压0.5kV to 30Kv
5.电子束电流2pA—100nA
6.样品室内部直径:230mm
7.样品台行程: (5轴马达控制)
X=80mm——马达控制
Y=60mm——马达控制
Z=47mm——马达控制
R=360°连续马达控制
T=-75°to50°马达控制
最大样品高度60mm.
主要特点
国内唯一一家使用中文操作界面的电镜厂商
1.电磁式电子枪自动对中;
2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,很方便寻找样品位置;
3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;
4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,电子枪部分使用离子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却.
5.采用气垫减震系统
6.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.
7.11个外扩展接口.
8.可进行远程控制
仪器介绍
MIRA II-LMH是TESCAN最新推出的高真空场发射扫描电子显微镜系列,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有很多用户使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计.
1.高亮度肖特基发射可获得高分辨率,高电流和低噪音图片。独有的三透镜大视野观察(Wide Field Optics™)设计,该设计提供了多种工作模式和显示模式,体现了Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。
2.结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™)可模拟和进行束斑优化。
3.成像速度快。
4.高吞吐量/自动取域。例:自动颗粒定点分析。
5.出众的电动载台设计,支持能谱仪(EDX),波谱仪(WDX),背散射电子衍射仪(EBSD)。
6.由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式机械泵,因而可以快速简单得到干净的真空样品室。电子枪由离子泵抽真空。
7.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。
8.成熟的控制软件,图片获取,存档,处理和分析功能。
9.网络操作和内置的远程控制/诊断是Tescan的标准配置。
10.强大的自动功能:全自动真空控制,自动升灯丝,自动电子枪校正 (Auto gun alignment),改变加速电压,自动补偿偏压,改变电子束大小,电子束探测电流自动跟随改变,改变放大倍率,
自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差,Look Up Table自动调整等。
11.完全自动的软件安装.
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;
I.影像显示尺寸
1)实时影像显示尺寸:共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。
2)储存影像显示尺寸:共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9种方式。
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。
II.扫描速度:从200ns/图素到10ms/图素,可阶级式或连续式的调整。
III.聚焦窗口:可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。
IV.动态聚焦,点&线扫描
V. 影像处理(Image processing):提供15种影像处理功能。
直方图(Histogram)﹐锐化(Sharpening)﹐等效化(Adaptive Equalisation)﹐对比微分化(Differential Contrast)﹐中值滤波(Median Filter)﹐去噪声化(Noise Reduction)﹐自动对比调整(Auto Contrast)﹐阴影补正(Shading Correction)﹐结构化(Structure)﹐反相化(Invert)﹐灰阶化(Convert to 8 bits grayscale)﹐真实色彩化(Convert to 24 bits true color)﹐影像旋转90度(Rotation 90 degree)﹐影像翻转(Flip)﹐傅立叶转换(Fourier Transformation)。VI.量测功能:提供13种影像量测的功能
1).可分析彩色影像的RGB值。
2).可量测线的长度。
3).可量测任意两点的距离。
4).可量测不规则形状的长度。
5).可量测任意夹角。
6).可量测不规则形状的面积和周长。
7).可量测圆形的直径和周长。
8).可量测任意三点所行成的圆形的直径和周长。
9).可量测椭圆形的长、短轴长度和周长。
10).可量测正方形面积。
11).可量测长方形长和宽。
12).可量测四边形长、宽和周长。
13).可精确量测任意两点的距离(任何放大倍率下﹐误差小于3%)。
14).可划指示箭头。
15).可写说明文字。
16).可在影像上标示Micro Bar。
17).字型、字体大小、颜色可任意设定。
18).可列表作统计处理,并可以储存。
19).实时或储存的影像均可处理。
VII.影像存盘:
1).浏览已储存影像的相本。
2).找寻已储存影像的数据库系统。
3).报告产生及从程序中直接打印。
4).实时或储存的影像均可处理。
13.卓越的分析品质;
1)选择目标区域:以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。
2)3D扫描:可通过各探头的配合,显示真实的三维图象。
3)硬度分析:以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。
4)多图片校正:可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。
5)打印放大倍数:调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。
6)关机时间设定:可以设定第一次自动关机时间。
7)公差
可选配软件
8)形态学:该软件可对样品图片进行自动分析,测量和分类。其图片来源可以是显微镜,数码相机等。
9)颗粒度分析:可以对多区域内的样品进行自动测量,分析和分类(不过分析样品必须在扫描窗口内)。该软件结合形态学软件使用,功能更加完善。
10)自动连续截图
11)样品观测
12)鼠标连接:安装该软件后,可以用电子显微镜的鼠标控制其他连接设备的鼠标进行操作。
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