SEMISHARE致力全球半导体技术的共享事业，专注于促进中国半导体事业的快速成长，目标成为半导体行业领先的totalsolution供应商。目前在中国设有半导体仪器营销事业群。SEMISHARE半导体仪器营销事业群立足中国深圳，香港，北京，上海，西安等城市为全中国半导体行业提供全球最先进的半导体检......
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TubeStar 系列氧化，扩散炉为实验型小型炉，根据需求定制，请按照以下流程确定规格: 1.氧化过程: N2 和O2的干氧化还是N2, O2, H2和pyrogenic torch 的湿氧化或者N2和O2，高纯水蒸汽的湿氧化? 2.层流箱（净化台）是否需要? 3.***高温度需求: 1100° or 1200°C or 1300°C? 4.采用石英管,舟还是SiC管,舟？ (由炉管温度决定） 5.旁路净化装置和N2载流口，载气的气流控制装置是否需要? 6.需要几个炉管? 7.手动装载还是机械装载? 8.是否会应用于薄于100A的氧化层的制备或者20到25微米的厚氧化层的制备? |
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