电子特种气体种类多，应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积极布局的方向。特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。
特种气体：关于高纯CO及高纯CH4生产技术
（一）技术简介
该项技术利用化工、医1药等行业的各类废气资源生产高纯 CO 及高纯 CH4 技术，应用于特种气体领域。
（二）技术特点
1、产品纯度高
采用双塔精馏技术，贵阳特种气体，克服变压吸附只能将纯度提至 99% 的行业技术难题。该技术是国内首套采用精馏装置生产高纯CO及 CH4的技术，能将 CO及 CH4产品纯度提高至 99.999%。
2、装置高度集成
装置采用 1台冷箱，同时具备生产高纯 CO及高纯 CH4 能力。
特种气体兴起于60年代中期，特种气体厂，作为基础化工材料，特种气体生产厂家，主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、***科学、临床诊断、医1药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展，其应用范围也越来越广泛。
自80年代1开始，特种气体销售，我国的气体工业迅速发展，各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世，其品种数目已与国外发达***水平相近。气体工业是国民经济基础工业之一，它涉及到国民经济的各个领域、涉及到人民的日常生活，牵动着高科技的发展。
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