显影机
1．概述：本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影，该产品技术***、一致性强，适用于规模生产。
2．整台设备材料均为进口。
3．本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可***同时完成相应的工序。
4．本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。
5．每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。
6．工作区洁净度：100级。
7．槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S
北京华林伟业电镀器材有限公司
普通会员第17年
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公司主营：半导体清洗设备