反渗透水处理设备(膜分离)技术的应用使反渗透超纯水设备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器得到了一次进步。 近年来开始在国外推广应用的EDI(电去离子)技术,则是超纯水制造技术的一次革命,从此进入了一个无需再生***,而能生产出高达18MΩ·CM的超纯水,用于半导体、集成电路等行业。 反渗透超纯水设备是采用专用RO技术设计,关键部件、设备采用进口***产品,工艺***,质量可靠,可扩展性强,结构合理占地小,水利用率高,能耗低,全自动化运行,操作维护简单。一般产水下限0.25m3/hr,上限不限,水回收率一般可达75%以上,脱盐率>98%。产水量随进水温度下降和反渗透膜老化或受污染有一定变化。 反渗透超纯水设备典型工艺流程为: 1: 预处理-反渗透-纯化水箱-离子交换器-紫外灯-纯水泵-用水点 2: 预处理-一级反渗透-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点 3: 预处理-反渗透-中间水箱-中间水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外灯-用水点 4: 预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点 水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)