α-Step IQ 台阶仪是KLA-Tencor ***新推出的表面轮廓测试仪。其***的垂直分辨率及经济的价格，适用于产品的研发、材料分析等方面的应用。其垂直重复性为8Å(1σ)或0.1%。亚埃米分辨率，为工艺分析、监控提供有效的方法。ASIQ 配备多种二维图形特性分析软件。可用于包括硅片，微机械MEMS,陶瓷，微透镜及平面显示等行业。
ASIQ 可有多种选配件适合不同的需求。
系统特性：
垂直测试范围：100 Å—2mm（选项）
垂直分辨率：小于1 Å
台阶高度重复性：8 Å 或0.1% （1σ）
扫描长度：10mm.