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提高特种气体稳定性

为了提高气体稳定性和保质期，天然1气公司已经开发出各种技术，以***1小化任何局部活性位点在铝气瓶中催化表面的潜在效力，然后再填充特种气体。EIGA 161/16第11段概述了一些常用技术。它建议：

“气瓶应通过适当的加热和抽真空或其他等效方法进行干燥。应尽量减少气瓶中的水分，并通过分析或其他方法确定浓度。“

这可以通过以下方式实现：

将惰性干燥气体引入气缸中，压力约为10 barg

在几个小时内让气体与气瓶平衡

测量存在的水分浓度，太原特种气体，和

重复该过程直至达到所需的干燥程度。

我国特种气体生产技术与国外的差距

论述了工业用标准气，环保气，大规模集成电路、光导纤维、非晶硅太阳电池制造用电子气，MOCVD的源材料—金属有机化合物，以及电子气配套器件国***研、生产和制造的技术水平及其与国外的差距，指出配套器件技术水平与国外的差距比特种气体技术水平与国外的差距还要大，仅约相当于国外70年代中末期水平，而标准气约相当于国外80年代初中期水平，特种气体厂家价格，电子气则相当于国外80年代初期水平。特气生产技术关键是气体纯化技术及高纯或瞄蚀性气体包装技术等。为加速电子气国产化进程，特种气体厂家***，提出了6项政策性措施。

特种气体是光电子、微电子等领域，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并且从根本上制约着电路和器件的精1确性和准确性。

半导体照明是正处于方兴未艾的产业，随着化合物半导体市场的扩展，特种气体的需求呈现更大的增长态势，外延生长需要大量的超纯源和过程气体。应用于半导体技术中的特种气体因为其种类繁多品质要求严格，生产、充装、运送、储存都有技术及安全的要求，再加上经济规模等因素，需要多方面的积累才能实现规模化生产，因此目前国内呈现现市场大、供应能力小的局面。