在LED产业链中,外延技术、设备和材料是外延片制造技术的关键。当前MOCVD工艺已成为制造绝大多数光电子材料的基本技术。外延技术需要的超纯特种气体包括高纯shen烷、高纯磷烷、高纯氨气,特种气体厂家,shen化jia生产中应用硅1烷N型掺杂,而氯化1氢和氯1气常常用做蚀刻气,石家庄特种气体,ya、氢、氮则是必须的载气。同时外延生长需要的有机源主要是***1基jia,特种气体生产厂家,***1基铟,***1基铝,二***锌,二甲1基锌,二茂镁等。现有技术的发展对这些产品的品质要求也越来越高。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,
其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体,特种气体销售,其中常用的有20~30 种。
在集成电路制造应用方面具体包括集成电路芯片制程、化学气相沉积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用;在太阳能电池应用方面具体包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池生产工艺和气体应用、薄膜太阳能电池生产工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面具体包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED生产工艺和气体应用;在液晶显示器应用方面具体包括TFT/LCD的应用、TFT/LCD生产工艺和气体应用;在光纤应用方面具体包括光纤应用和光纤预制棒的生产工艺和气体应用。
特种气体:关于高纯CO及高纯CH4生产技术
(一)技术简介
该项技术利用化工、医1药等行业的各类废气资源生产高纯 CO 及高纯 CH4 技术,应用于特种气体领域。
(二)技术特点
1、产品纯度高
采用双塔精馏技术,克服变压吸附只能将纯度提至 99% 的行业技术难题。该技术是国内首套采用精馏装置生产高纯CO及 CH4的技术,能将 CO及 CH4产品纯度提高至 99.999%。
2、装置高度集成
装置采用 1台冷箱,同时具备生产高纯 CO及高纯 CH4 能力。
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