四氟化碳
一、 产品简介
英文名称:Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane
分子式:CF4。
相对分子量:88.00
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物
二、产品质量指标及标准
四氟化碳产品质量标准 |
||||
纯 度 |
CF4 |
≥99.9 |
≥99.99 |
≥99.999 |
氮 气 |
N2 |
≤300ppm |
≤10ppm |
≤3ppm |
氧 气 |
O2 |
≤100ppm |
≤5ppm |
≤1ppm |
水 分 |
H2O |
≤10ppm |
≤1ppm |
≤1ppm |
一 氧 化 碳 |
CO |
≤50ppm |
≤1ppm |
≤1ppm |
二 氧 化 碳 |
CO2 |
≤50ppm |
≤1ppm |
≤1ppm |
酸 度 |
HF |
≤1ppm |
≤0.1ppm |
≤0.1ppm |
其它氟碳化合物 |
F-C |
≤350ppm |
≤2ppm |
≤2ppm |
六 氟 化 硫 |
SF6 |
≤50ppm |
≤5ppm |
≤1ppm |
三、产品特点
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体
四、产品主要性能
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
五、注意事项
四氟化碳是一种不燃烧的无色、无味的压缩气体,充装于钢瓶中,压力2000 psig。当其含量增加至氧气含量低于19.5%导致窒息。接触液体会引起冻伤。避免呼吸气体。在救护工作中需配备自吸式防毒面具。
六、包装规格
四氟化碳对金属、合金不腐蚀,可用无缝钢瓶和铝合金容器装运,充瓶压力通常低于12.5Mpa,按压缩气体运输,钢瓶每五年检验一次,国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输,国内目前无规定
广州中锐化工有限公司是一家集工业气体产品、水处理产品生产、销售、相关工程建设、环保项目运营及环保技术开发于一身的实业型企业。主要产品有:
1. 工业气体产品:氦气,丙烷,丙烯,丁烷, 氢气,激光气,液氨,混合气,四氟化碳,氯化氢,乙烯等。
2.水处理产品:聚丙烯酰胺,三氯化铁,蚀刻液,聚合硫酸铁,聚合氯化铝,碱式氯化铝,聚合硫酸铝铁,过氧化氢(双氧水),等;
3.工程及配件产品 :丙烷瓶,液氨瓶,氨气表、高压管等。
以上产品畅销国内市场,出口多个国家和地区。欢迎各界朋友莅临指导、参观和业务洽谈。
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