真空煅烧炉主要由真空密封炉膛、不锈钢电热管加热器，废料收集罐、水喷淋洗涤器、水环式真空泵、工件吊篮以及为其服务的温度自动程序控制系统、真空泵自动启闭系统和水路、仪表等到组成。真空煅烧炉主要有：立式真空煅烧炉、井式真空煅烧炉、卧式真空煅烧炉。
立式真空煅烧炉炉膛为立式安装，炉盖采用气缸启闭，盛放工件的吊篮由电动葫芦（需方自备）从上部炉口吊入炉内，炉膛下部呈漏斗状与废料收集罐相连接，排料流畅，倾倒废料简单方便。
井式真空煅烧炉炉膛结构为矩形，适用范围广，特别适用于矩形板和较大的环形喷丝板的清洗，炉盖采用链轮、链条结构，通过摇动手轮，使炉盖在两水平轨道上移动。开启或闭合，被清洗的工件放入吊篮或专用搁架上，用电动葫芦（用户自备）吊入炉内，该炉结构新颖合理，炉膛有效容积大，适用范围广，操作方便。
卧式真空煅烧炉炉膛为圆形筒体，卧式安装，炉门和工件搁架有二种结构形式。一种是炉门与工件搁架一体在轨道上运行；另一种是工件搁架放在带升降机构的台车上，提升起工件架，推入炉内后落下工件架，退出台车，关上炉门。两种形式，工件搁架在轨道上运行均轻松省力，炉门开合自如，操作方便快捷。
真空煅烧炉炉膛长度较长时采用多只废料收集装置，以利熔融物料及时顺利地排出炉外。 真空煅烧炉采用***的自动控制装置，具有双重***和保护功能，用户***烧坏工件的后顾之忧，仪表功能***，操作简单方便，控温精度高，且仪表具有串行通讯（RS422 或 RS485）功能，多台设备使用时，可以和厂内的上位计算机组成小型DCS系统（分散控制系统）。