技术规格：
流量 ：（1～2000）Nm3/h
纯度 ：95%～99.9998%
压力 ：0.5～1.0Mpa(可增压)
*** ：< -70℃
设备特点：
●装置结构紧凑,装置占地面积小，可用于室内、外操作。
● 装置全自动控制，开停车方便快捷，完全实现无人值守。
● 装置运行和维护费用同类产品低。
●装置运行***性强，稳定性好，可靠性高。
● 装置能耗少，运行成本低。