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应用领域：
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光学玻璃镀膜工业；薄膜工艺；真空冶金；照明工业排气
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型号：
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FSF-150/600
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规格：
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FSF-150/600
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型号
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FSF-150/600
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抽气速率（l/s）
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600L/S
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压缩比N2
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>109
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压缩比H2
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>8×103
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极限压强(Pa)
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<2×10-8
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<1×10-7
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高真空法兰
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LF150
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CF150
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排气口法兰
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KF40
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启动加速时（min）
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<5min
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电机转速（n/min）
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24000n/min
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***小不平衡（mg）
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15mg
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建议采用前级泵
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机械泵4～8L/S
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充油量（ml）
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/
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安装方式
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垂直&plu***n;5°
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冷却方式
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水冷或风冷
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冷却水温度
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<20℃
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环境使用温度（℃）
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风冷<32℃ 水冷<40℃
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泵体烘烤温度（℃）
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<100℃
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泵重量（kg）
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30kg
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外形尺寸（mm）
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Φ280×416
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