Colibrys MS9010系列是一个电容式MEMS加速度计，它是由一个立体微加工工艺支撑的硅元件，一个低功耗ASIC专用信号处理器和一个存储补偿值的微控制器以及一个温度传感器等元件组成。该产品是一个低功耗的、校准的、功能强大和性能稳定的产品，其电子配置中带有一个电源重置以防止电压不稳的全保护装置。
应用范围： 特点： · 振动测量 · ***测量 · 机器人技术 · 碰撞检测 · 数据记录仪 · 钻探 · 倾斜测量运输
性能参数：
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工 作 特 性 |
量程 |
&plu***n;10 |
g |
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封装 |
LCC20 |
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偏差标定 |
<50 |
mg |
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48h偏差稳定性 [1] |
0.25 |
mg |
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年偏差稳定性[2] |
1.5 (<5) |
mg |
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上/掉电重复性 |
<0.75 |
mg |
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偏差温度系数[3] |
0.5 |
mg/℃ |
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&plu***n;2 |
mg/℃ |
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比例因子，灵敏度（K1） |
200&plu***n;2 |
mV/g |
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年比例因子稳定性 |
300 (< 1000) |
ppm |
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比例因子温度系数 |
100 |
ppm/℃ |
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-50 / 250 |
（***小/***大值） |
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输入轴向误差（Kp,Ko） |
<10 |
mrad(***大值) |
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1 |
%(***大值) |
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分辨率/阈值 (@ 1Hz) |
< 0.6 |
mg(***大值) |
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非线性度 |
<0.9 |
% FS（***大值） |
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<0.09 |
g(***大值) |
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带宽[4 ] |
0~≥100 |
Hz |
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白噪声频谱密度 |
18 |
µV/ hz½ |
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24 |
***大值 |
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共振频率 |
3.7 |
kHz |
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环 境 特
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