MMLAB-prb系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计,简化了硬件结构,抗干扰性强,工作可靠,能够用于各种放电形式的等离子体诊断。其中MMLAB-prb1型为通用型;MMLAB-prb1a型为功能扩展型,可用于诊断射频等离子体;MMLAB-prb2型是双探针型,可适用于无极放电等离子体,对等离子体扰动小;MMLAB-prb3型是三探针型,可用于等离子体快速诊断(可达亚微秒级)及等离子体参数实时监控; MMLAB-prb-hmc型是谐波探针型,可用于绝缘薄膜沉积环境的等离子体诊断和等离子体参数实时监控; MMLAB-prb-ems型是发射探针型,用于准确测量等离子体及鞘层内的空间电势。
与其他朗缪尔探针产品相比,我们的探针有以下几个独具的特点:
- 型号齐全
包括单探针、双探针、三探针、谐波探针和发射探针等,能够***大程度满足用户需要。
- 支持定制
我们支持针对用户设备结构和测量需要单独设计定制探针结构。
- ***。
- 便携设计,业内***小,连接电脑即可工作,不需要另接电源。
- 采用球面探针,空间分辨率更高,测量更准确,对等离子体扰动更小。
- 悬浮双探针技术,探针回路***于放电回路,能够解决高电势下等离子体诊断的问题。
- 谐波探针诊断技术,通过检测位移电流,使探针能够对绝缘薄膜沉积环境的等离子体进行诊断。
- 时间分辨诊断技术,能够达到12.5ns的时间分辨率。