第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）
布鲁克 DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供***的重现性，重现性低于5Å。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业***地位。通过整合其行业***产品，DektakXT实现了***高性能。操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代Dektak台阶仪能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、***、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。
DektakXT
Specificati***规格
测量技术探针轮廓技术
测量功能二维表面轮廓测量
可选三维测量/
样品视景可选放大倍率, 1 to 4mm FOV
探针传感器低惯量传感器(LIS 3)
探针压力使用LIS 3传感器：1 至15mg
低作用力（选配）使用N-Lite+低作用力传感器：0.03至15mg
探针选项探针曲率半径可选范围：50nm至25μm
高径比(HAR)针尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;
可按客户要求定制针尖
样品X/Y载物台手动X-Y 平移：100mm (4 英寸)
机动X-Y 平移：150mm (6 英寸)
样品旋转台手动，360°旋转;
机动：360°旋转;
计算机系统64-bit 多核并行处理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板显示器
软件Vision64操作及分析软件；
应力测量软件；悬臂偏转；
缝合软件；三维扫描成像软件
减震装置减震装置可用
扫描长度范围55mm (2英寸)
每次扫描数据点***多可达120,000数据点
***大样品厚度50mm (2英寸) ***大晶圆尺寸200mm (8英寸)
台阶高度重现性<5Å, 1σ在1μm台阶上
垂直范围1mm (0.039英寸)
垂直分辨率***大1Å ( 6.55μm垂直范围下) 输入电压100 – 240 VAC, 50 – 60Hz
温度范围运行范围20 到25°C (68到77°F)
湿度范围≤ 80%, 无冷凝
系统尺寸及重量455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75磅);
附件：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48磅)