应用于LED产业的特种气体
半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是***或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：
1、硅族气体：含硅基的硅3烷类，如硅3烷、二氯二氢硅、乙硅1烷等
2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、3氟化3硼、磷烷、shen烷等。
3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如氯1气、三氟化氮、xiu化氢、四氟化碳、六氟乙1烷等。
4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，特种气体出售，如六氟化钨、***1基jia。
有人说电子特气是电子工业体系的血液，有人说电子特气是电子工业体系的粮食，特种气体供应商，还有人说电子特气是电子工业体系的脑细胞，上海特种气体，这些都说明了电子气体对于集成电路生产的重要性，无疑是集成电路制造所需要的关键材料。
面对如此的大好形势，特种气体公司如雨后春笋般的遍地崛起，根据气体圈子统计，高纯氨企业已经在生产的和新项目立项确定的就有15家，***的生产企业和立项已经确定的有17家，三氟化氮生产企业未来也有近10家。这些企业大体分为三类，第1类是之前就从事特种气体生产研究的企业，第二类是由工业气体企业转型而来，第三类是非气体行业的“慕名而来”，气体圈子认为国产化更多时候PK的应该是质量而非数量。
气瓶柜 gas cabinet (GC)
特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。
气瓶架 gas rack (GR)
特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。
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