应用领域
RCVD系列真空气氛管式炉广泛用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制，试验用碳纤维碳化、晶体硅板镀膜、纳米氧化锌结构可控生长等等，也可用于金属材料的扩散焊接及真空或气氛保护下的热处理。
主要特点
采用精炼石英管或高纯高于管作为炉膛，可拆卸的密封方式，具有良好的洁净度和真空度，耐火保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、低能耗。加热元件采用优质硅钼棒、硅碳棒或进口电阻丝；温度控制系统采用原装进口智能多段程序温度控制仪控制，具有良好的稳定性、均匀性。
技术指标
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设备型号 |
RQL-07/75/3 |
RQL-18/110/3 |
RCVD(D)-06/60/3 |
RCVD(G)-09/50/1 |
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最高温度 |
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使用温度 |
RT |
RT |
RT |
RT |
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控温精度 |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
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温区个数 |
3个 |
3个 |
3个 |
1个 |
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炉管尺寸 |
Φ70×2200mm |
Φ180×2100mm |
Φ60×1400mm |
Φ90×1450mm |
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发热元件 |
进口电阻丝 |
进口电阻丝 |
进口电阻丝 |
U型硅钼棒 |
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最大装机功率 |
7.5KW |
18KW |
4KW |
8KW |
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箱式炉选件功能 |
Z |
真空系统：机械泵或是机械泵+扩散泵机组或是分子泵 |
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Q |
气氛保护系统：浮子流量计或是进口/国产质量流量计 |
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J |
记录打印系统：有（无）纸记录仪 |
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