抛光垫又称抛光皮,抛光布,红磨皮报价,抛光片,化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。
分类
按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫; 按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫; 按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型。
作用
①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;
②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;
③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;
④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌;
除了抛光垫的材料特征(如:微孔形状、孔隙率等)的因素外,其中抛光垫的沟槽形状和分布对抛光液在加工区域的流量、均匀分布和抛光温度等都有着重要影响,从而影响抛光效率和抛光产品表面材料出去效率、加工质量。
常见的抛光垫表面沟槽的情况:
在实际生产发现对于不同产品抛光要求,不同的企业在抛光垫的应用时,有使用不同沟槽抛光垫情况。
正负螺旋型沟槽与抛光产品和抛光垫之间的接触模式以及修整时间等因素对抛光效率会产生较大影响;负螺旋型由于与抛光垫旋转方向相反,红磨皮,有助于新的抛光液运送与均匀分布,红磨皮厂家,同时在离心力的作用下,也有助于旧抛光液和抛光产物的排除使得新抛光液能及时进入加工区域,抛光产品与抛光垫之间的摩擦系数较大,抛光效率比正螺旋型更高。
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