抛光垫又称抛光皮,抛光皮销售,抛光布,抛光片,抛光皮,化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。
分类
按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫; 按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫; 按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型。
作用
①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;
②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;
③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;
④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌;
沟槽的形式对抛光因素的影响
抛光温度
不同的沟槽形状会影响温度及热分布。实验表明,抛光皮批发价,在相同条件下,相对于无沟槽的抛光垫,使用圆环型沟槽抛光垫抛光时,沟槽的存在会影响热量的径向传输及分散,抛光垫和抛光产品的温度均略有提高。而其它沟槽形状的抛光垫,具有较强的运送抛光液能力,所以会对温度及热应力分布产生更大的影响。
在CMP中,抛光皮具有以下功能:
(1)能贮存抛光液,并把它运送到工件的整个加工区域,使抛光均匀;
(2)从工件抛光表面除去抛光过程产生的残留物质(如抛光碎屑、抛光垫碎片等);
(3)传递材料去除所需的机械载荷;
(4)维持抛光过程所需的机械和化学环境。抛光皮性能主要由抛光皮的材料种类、材料性能、表面结构和状态等决定。
抛光皮出售-抛光皮-晨鑫玻璃抛光材料加工(查看)由东莞市大岭山晨鑫玻璃抛光材料加工厂提供。抛光皮出售-抛光皮-晨鑫玻璃抛光材料加工(查看)是东莞市大岭山晨鑫玻璃抛光材料加工厂()今年全新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取联系人:梁先生。