微分干涉相差显微镜Dino900C
一、产品性能:
使用安装在物镜上方的DIC棱镜(诺玛斯基棱镜),将照明光横向分离成两束光线照明样品。从样品直接反射出的两束光线的差生成明暗对比,从而能立体的观察样品表面上微小的高低不平。此外,利用灵敏色辉片,光程差会产生颜色变化,有助于更好的观察样品。
产品主要用于观察具有微小的高低不平的样品,如:晶圆研磨面、硬盘表面、磁头研磨面、金相***等。
二、产品特点:
1、能呈现具有浮雕感的图像,对试样的高低不平有极高的分辨率;
l2、通过调节棱镜的位置,调节色彩,出现诸如黑、黄、红、绿等多种色彩背景;
三、主要技术参数:
1. 摄像系统:300万制冷CCD摄像头,光学尺寸为:1/2
2. 10X,NA0.28mm,工作距离33.5mm,焦点距离20mm,分解能:1um,焦深:3.58um,视野:0.64*0.48(mm)
3. 调焦:粗微动调焦
4. 照明:同轴照明,可变亮度光圈
选购件:
1. 物镜:2X,NA0.005mm,工作距离34mm,焦点距离100mm,分解能:5um,焦深:91um,视野:3.2*2.4(mm)
2. 物镜: 5X,NA0.14mm,工作距离34mm,焦点距离40mm,分解能:2um,焦深:14um,视野:1.28*0.96(mm)
3. 物镜:20X,NA0.42mm,工作距离20mm,焦点距离10mm,分解能:0.7um,焦深:1.6um,视野:0.32*0.24(mm)
4. 物镜:50X,NA0.55mm,工作距离13mm,焦点距离4mm,分解能:0.5um,焦深:0.9um,视野:0.128*0.096(mm)
5. 物镜:100X,NA0.55mm,工作距离13mm,焦点距离2mm,分解能:0.5um,焦深:0.9um,视野:0.064*0.048(mm)