应用领域：
该设备主要应用于集成电路、发光二极管、太阳能电池基片、铌酸锂、压电陶瓷、石英、***化***、蓝宝石、氧化铝、氧化铁、玻璃等材料的划切加工。
特点：
- 空气静压主轴，刚性好、精度高、寿命长。
- X轴及θ轴采用伺服驱动系统，调速范围宽，低速运行平稳。
- Y轴采用光栅尺闭环控制，精度高。
- Z轴重复***准确，切割深度可补偿。
- 采用工控机控制，状态实时监控可靠性高。
- 卤素灯+光纤传导照明，图像清晰，对准方便。
- Windows软件运行平台，人机界面友好，多套工艺方案可编程，操作方便简单。
说明：
- 压缩空气：0.55Mpa,300L/min
- 冷却水：0.3 Mpa,2.0L/min
- 人机界面及相应功能，可以根据顾客要求进行定制