微电子行业超纯水设备(高纯水设备 去离子水设备)
应用范围概述:
微电子行业:电解电容器生产 、 电子管生产 、 显像管和阴极射线管生产、 黑白显像管荧光屏生产 、 液晶显示器的生产 、 晶体管生产 、 集成电路生产 、 电子新材料生产;
医药行业:医药无菌水生产 ***生产 ;
化学化工:超纯化学***生产 化工新材料生产 ;其它:***冶炼、磁性材料生产、电子级无尘布生产、光学材料生产等
二、典型工艺流程
预处理系统-反渗透系统- 中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象 (18MΩ.CM)(传统工艺)
预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5