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该系列大行程全自动影像测量仪采用龙门式结构(桥架式)运行性能稳定，且机构稳定不变形。X、Y、Z三轴均采用伺服电机、全采用双重闭环运动控制、可保证电机在中、高速动动时的稳定性，和准确的***功能，影像Z轴可自动对焦、配合美国N***itar自动变焦镜头，可实现自动变焦而不需倍率校正。
目前主要运用在PCB线路板、覆铜板、平板玻璃、液晶模组、刀模、绝级材料等。
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| 工作台 | 金属台面尺寸(mm) | 760×640 | 800×550 | 800×800 | 750×1000 | 1140×1360 | 1340×1660 | |||||||||
| 玻璃台面尺寸(mm) | 550×350 | 650×450 | 650×650 | 650×850 | 1050×1250 | 1250×1550 | ||||||||||
| 运动行程(mm) | 500×300 | 600×400 | 600×600 | 600×800 | 1000×1200 | 1200×1500 | ||||||||||
| Z轴升降行程 | 200mm | |||||||||||||||
| 工作距离 | 92mm | |||||||||||||||
| X、Y、Z数显解析度 | 1μm | |||||||||||||||
| X、Y坐标示值误差 | ≤(3+L/200)μm | |||||||||||||||
| 影像系统 |
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| 测量系统 | Mclns全自动测量软件 | |||||||||||||||