气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜（面）和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气的钢瓶，充装前也进行特殊的干燥处理，H2O 2PPM。
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