




工作台的维护与***
1. 当风机电压调至***da时, 工作区风速仍达不到技术参数的要求时,则必须更换送风***过滤器, 更换送风***过滤器时也必须同时更换排风***过滤器。更换完毕后,应用尘埃粒子计数器检查四周边密封是否良好,若有泄漏需用密封胶封堵。
2. 风机不需要特别的维护,但建议进行一次定期检查。
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超净工作台的产品特点
超净工作台以其开放式台面、操作方便、洁净度可达百级的优势广泛应用于***、科研、光电等产业,同时还有以下几方面优势:
1、表面静电喷涂,准闭合式整体不锈钢台面,可有效防止外部气流透入,及操作异味对***的刺激。
2、采用可调风量风机系统,生物安全柜哪家好,轻触型开关及双速调节电压大小,保证工作区风速始处于理想状态。
3、轻触型开关调节风量,保证工作区风速在要求的范围内。
超净室各项功能的配备均以满足各项工艺要求为前提,它具备以下特点:
(1) 在洁净区与非洁净区隔离口设有“TJ —1”型单人定时冷热风淋室,它是工作人员进入超净室的净化关口。
(2) 在非洁净区设有更衣室,操作人员更换防静电洁净服后才可进入超净室。
(3) 设有室内对外器件、物品传递窗。
(4) 室内面积达24m2 ,其工作洁净度达1000 级,在局部2m2 的光刻工艺区、净化工作台以及净化涂胶机,工作洁净度达100 级。(5) 室内用于显影及清洗器件的高纯水,是由设在室外的洁净水循环系统引入,该系统以去离子水为原水,经精密过滤、紫外线杀菌及离子交换,极大提高了水质纯度,其输出水质电阻率≥15MΩ。
(6) 在工作人员健康保障方面,超净室设有空调、净化排风系统。涂胶台及电镀腐蚀工作台设置了***的对外排风系统,从而也降低了环境污染。空调系统保障了室内湿度≤60 % ,工作温度保持18 ℃—25 ℃。室内循环净化送风系统以及光刻工作区层流罩循环净化系统为室内洁净度提供了保障。
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