R14制冷剂,别名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名称有Freon 14等,中文名称四氟化碳、四氟***,英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。R-14属于FC类物质——对臭氧层没有***、但存在温室效应;目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、***设备上的再添加均没有限制。R-14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、***制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(四氟***)是目前微电子工业中用量***大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟***高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
气体纯度:R14>99.999%,氮气< 5 ppm,氧气< 2 ppm,总烃< 1 ppm,***< 1 ppm,二氧化碳< 1 ppm,水< 2 ppm,
气体包装:40L钢瓶,30kg/瓶,32kg/瓶。阀门型号:CGA660,或CGA580、CGA590。或按客户要求。
R14储存、运输R14制冷剂钢瓶为高压容器,储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒,通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内;搬运时R14时应轻装、轻卸,防止钢瓶以及阀门等附件破损。