激光干涉仪环境因素的影响
一、影响因素:
(1)空气温度:1℃
(2)空气压力:0.3kPa
(3)相对湿度:30%
特别是振动对测量的影响是非常大的,振动可能导致测量数据的分散,明显影响重复性的测量。甚至可能使测量无法正常进行下去。
测量尽量在恒温车间进行,以保持环境温度的相对稳定;尽量关掉车间的照明灯和机床上的工作灯,以减少热源;在夏季,激光干涉仪定制,为了减少激光器的发热,可用电风扇对其进行散热和降温,以延长激光器的使用时间。
激光干涉仪为什么要越程量?
以测量位移平台的线性***精度为例,在位移平台旁边架设激光干涉仪,在平台上放置分光镜和反射镜,调整激光器和镜组的位置,使出射光和入射光的光斑重合,激光器前排的三个指示灯显示绿色,在电脑测量软件上设置第1***点、***终***点、间距值、目标数、测量次数以及越程量大小等数值,点击“开始”按钮进行测量。激光干涉仪在测量回程***点时,激光干涉仪经销商,需要越程量位移一段距离,激光干涉仪什么牌子好,即可保证在测量回程的第1点(***终***点)数值时,为绝1对数值,从而保证了测量全程的精1确度。


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