




随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展,特种气体行业新兴起来。特种气体是工业气体中的一个新兴门类,从应用领域划分,主要有电子气体、高纯气体、标准气体三大类。
近年来,随着下游应用领域的逐步扩展,特种气体的品种也与日俱增,据不完全统计,我国已有的特种气体达260余种。随着非低温气体分离技术(吸附、膜分离)、混配技术和提纯技术的发展,更多的特种气体产品将逐步走向市场。电子气体主要分为氢化物(超纯氢、硅1烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等),哈尔滨特种气体,碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙1烷等)。目前,我国电子气体品种基本齐全,电子特种气体,但数量和质量与发达***相比,特种气体公司,尚有较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展,对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。
特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料,特种气体厂,根据不同气体的生产工艺和用途,可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。其中,特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体,包括电子气体、标准气体、高纯度气等种类,可应用于电工电子、半导体、液晶面板、光纤、***研究及诊断等多个领域。
特种气体中单元高纯气体的品种及用途
特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体,另一类为混合气体。对于单元高纯气体,根据现已收集到的文献,汇总起来共有227种,可分成五个类别: 一、电子气体,共85种(序号1~85),占总数的36.3%; 二、有机气体,共61种(序号86~146),占总数的27.8%; 三、无机气体,共35种(序号147~181),占总数的15.5%;
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