高纯气体输送及储运也是影响电子气体质量的关键因素。超高纯气体的生产和应用要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口，要求相应器件耐高压、耐高真空，特种气体价格，对于腐蚀性气体要求耐腐蚀，以避免二次污染的发生。随着气体纯度的提高、产品种类的增多，特种气体生产厂家，对包装容器的要求也越来越高，对于气瓶内壁处理技术以及气密性好无污染的阀门、减压器、过滤器等的研制提出了较高要求。
特种气体(Specialty gases)是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
特种气体广泛应用于半导体制造行业，是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，电子特种气体，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体中包含了大量的***、***的***性大的气体，因此，特种气体的使用和贮存有别于普通的工业气体。特种气体按性质分类:腐蚀性气体、***性气体、氧化氧气体、惰性气体、***性气体。
特种气体应用于国民经济的很多行业，南京特种气体， 它在电子行业、石油化工、医1药国防等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展， 无论在气体品种上，还是在数量上， 都以***的速度发展， 生产的品种基本上满足了市场的需求，现如今我国特种气体从原来的完全依赖进口转向基本自给自足。尽管如此， 受诸多方面的影响， 我国特种气体无论在标准上、质量上、生产规模化上， 甚至生产成本上， 同发达***同行业相比， 仍存在一定的差距。
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