




特种气体产品供应***有代表性的公司为美国Air Product、Praxair、德国Linder、法国AirLiquid、日本酸素等,苏州特种气体,这些公司的产品在国际电子气体的市场占有主要份额。国内特种气体的研究开发取得了一定的成绩,特种气体价格,形成产业化的还很少,使得绝大多数产品仍然依赖进口。在***“863”项目的支持下,公司生产的高纯氨产品纯度99.99999%以上,可以替代进口产品,应用在氮化jia生产中。
气瓶柜 gas cabinet (GC)
特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备,一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。
气瓶架 gas rack (GR)
特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备,一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。
我国特种气体生产技术与国外的差距
论述了工业用标准气,环保气,哪里有特种气体厂家,大规模集成电路、光导纤维、非晶硅太阳电池制造用电子气,MOCVD的源材料—金属有机化合物,以及电子气配套器件国***研、生产和制造的技术水平及其与国外的差距,指出配套器件技术水平与国外的差距比特种气体技术水平与国外的差距还要大,仅约相当于国外70年代中末期水平,而标准气约相当于国外80年代初中期水平,电子气则相当于国外80年代初期水平。特气生产技术关键是气体纯化技术及高纯或瞄蚀性气体包装技术等。为加速电子气国产化进程,提出了6项政策性措施。
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