供应特种气体厂家-烟台特种气体-安徽谱纯特种气体

石化用特种气体安全贮运编辑

1. ***品专车运输， ***1好是厂家直接送货并有合格的押运员， 懂行的搬运工， 轻装轻卸。 　　

2. 瓶帽必须配戴好， 避免在汽车急刹车及装卸过程中撞开瓶阀发生***， 特别是高纯氢等***气的运输。 　　

3. 禁止高纯氧、空气和可燃气体混装。 同时，供应特种气体厂家， 严禁烟火， 运输工具上应备有灭火器材。 　　

4. 夏季运输应有遮阳设施， 避免曝晒。 　　

5. 有专用气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁， 避免阳光直射， 气瓶库应清楚***明“气瓶贮存”字样， 显示适当的***标记(例如***、***、***等) 。 　　

在半导体制造业中，可以把气体分成大宗气体和电子气体，特种气体销售，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积，扩散等过程中使用的各种化学气体，如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、***F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、***F8、N2O等，又可称为电子特种气体。

电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中，从芯片生长到***后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。

特种气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向，这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求，以实现气体的市场价值。在这三种分离技术中，精馏技术的操作比较复杂，目前精馏的汁算还处在半经验状态，但分离的气体产品的纯度能满足市场上各种气体的纯度要求；吸附分离技术还有待于吸附剂的发展；膜分离技术是较新的分离模式，烟台特种气体，它的发展很快，已经对精馏技术和吸附分离技术造成了不同程度的威胁。总之，这三种方法各有优缺点，适应不同的场合，满足不同的要求，为特种气体的分离做出各自的贡献。