一、设备名称及型号：

1.1名称：全自动碱腐蚀机

1.2型号：NXXD-8SA-08-A

二、设备用途：

2.1适用于4-8英寸硅片腐蚀清洗处理，设备除人工上料下料外，均采用机械手传动清洗，减少人的参与，增强清洗质量。

三、设备结构及特点概述:

3.1设备形式:室内放置型;

3.2能力设计:一天工作24H/天

3.3设备结构:

-此设备清洗装置主要由：清洗主体(槽体部分/管路部分等),机械手，机械传动，抽风系统,电器控制，上下料台，水枪，***、等部分组成;

3.4设备特点:

-腐蚀漂洗能力强,性能稳定,安全可靠;

-设备成本合理,自动化程度高,使用成本低;

-技术***,结构合理,适宜生产线批量生产使用;

四、工艺流程及工艺细节:

4.1工艺流程（采购方提供）:将工件放在上料台→SC-1槽→DIW槽→碱腐蚀槽→DIW槽→酸槽→DIW槽→下料台（或根据不同工艺，通过软件编程，设置几套不同的清洗程序，对清洗顺序，清洗时间等进行调整）

五、主要技术参数：

5.1整机

• 尺寸(参考)：6500mm(L)×2200mm(W)×2500mm(H)；
• 主要材料：优质磁白10mmPP板，优质不锈钢骨架；
• 两套机械手；
• 彩色触摸屏
• DI***路及构件采用国产优质PP管材，需满足10--15MW去离子水水质要求；
• 设备顶部装有照明灯；

5.2 SC-1槽（2#）

• 数    量：1套；
• 清 洗液：NH4OH+H2O2+DIW
• 加热温度：80&plu***n;1℃（内置式加热4KW）
• 供液方式：自动，槽内设置高液位和低液位传感器，对槽内加热系统进行保护，同时又通过液位传感器来控制补液；
• 槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；
• 排液方式：泵排或重力排液
• 槽体材质：进口优质PVDF板 热弯/焊接组合加工；    
• 超声系统：40KHZ,2KW(功率可调)
• 配自动开启透明PVC材质盖，氨气挥发。
• DIW水带自动和手动开启功能；
• 设置储液槽，容积20L；
• 抛动机构：抛动电机+偏心轮等传动机构进行上下抛动；抛动幅度20-60可调。

5.3 DIW槽（3#）

• 数    量：1套；
• 清 洗 液：DIW
• 温    度：70&plu***n;1℃（内置式加热4KW）
• 供液方式：自动，槽内设置高液位和低液位传感器，对槽内加热系统进行保护，同时又通过液位传感器来控制补液；
• 槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；
• 清洗方式：溢流+***+喷淋
• 排液方式：***
• 槽体材质：进口优质10mmPVDF板 热弯/焊接组合加工；   
• 槽体结构：溢流+***+喷淋
• 超声系统：40KHZ,2KW(功率可调)
• 抛动机构：抛动电机+偏心轮等传动机构进行上下抛动；抛动幅度20-60可调。

5.4  碱腐蚀槽（4#）

• 数    量：1套；
• 清 洗液：NAOH+ DIW
• 加热温度：120&plu***n;1℃（内置式加热6KW）
• 供液方式：自动，槽内设置高液位和低液位传感器，对槽内加热系统进行保护，同时又通过液位传感器来控制补液；
• 槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；
• 排液方式：虹吸排液
• 槽体材质：进口优质PVDF板 热弯/焊接组合加工；    
• 超声系统：40KHZ,2KW(功率可调)
• 配自动开启透明PVC材质盖，氨气挥发。
• DIW水带自动和手动开启功能；
• 设置储液槽，容积20L；
• 抛动机构：抛动电机+偏心轮等传动机构进行上下抛动；抛动幅度20-60可调;
• 顶部设有100洁净单元，提高设备局部净化级别。

5.5 DIW槽（5#）

• 数    量：1套；
• 清 洗 液：DIW
• 温    度：RT
• 供液方式：自动,带流量计，进水速度可控
• 槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；
• 清洗方式：溢流+***+喷淋
• 排液方式：***
• 槽体材质：进口优质10mmPP板 热弯/焊接组合加工；
• 超声系统：40KHZ,2KW(功率可调)

5.6  酸腐蚀槽（6#）

• 数    量：1套；
• 清 洗液：醋酸+HF+DIW
• 加热温度：70&plu***n;1℃（内置式加热4KW）
• 供液方式：自动，槽内设置高液位和低液位传感器，对槽内加热系统进行保护，同时又通过液位传感器来控制补液；
• 清洗方式：溢流+***+喷淋
• 槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；
• 排液方式：***
• 槽体材质：进口优质PVDF板 热弯/焊接组合加工；    
• 配自动开启透明PVC材质盖，防止酸气挥发。
• 设置储液槽，容积20L，药液可循环使用（加过滤系统）；
• 抛动机构：抛动电机+偏心轮等传动机构进行上下抛动；抛动幅度20-60可调。

5.7 DIW槽（7#）

• 数    量：1套；
• 清 洗 液：DIW
• 温    度：50&plu***n;1℃（内置式加热4KW）
• 供液方式：自动,带流量计，进水速度可控
• 槽体尺寸：430mm(L)×430mm(W)×400mm(H)；
• 清洗方式：溢流+***+喷淋
• 排液方式：***
• 槽体材质：进口优质10mmPP板 热弯/焊接组合加工；
• 超声系统：40KHZ,2KW(功率可调)
• 抛动机构：抛动电机+偏心轮等传动机构进行上下抛动；抛动幅度20-60可调。

5.8 上、下料台（1#、8#）

• 台面尺寸：
• 台面材质：PP
• 清 洗 液：下料喷淋
• 下料控制：下料位有感应器，一旦有花篮到达下料位，将有声光提示操作员取料，并切传送装置向前推进一步，进入下一工位。

5.9设备排风系统

• 设备设有排风装置；
• 排风装置（排风压力、风量根据实际情况或客户要求设计）将设备内挥发的***气体抽到车间排风管道或户外（室外排放遵守***环保要求），避免扩散到室内；
• 排风通道内设有风量导流板，从而使排风效果达到***佳；
• 本体顶部后方设有3个风道口装置，排风口直径大于或等于200mm与本体焊成一体；
• 排风口处设有手动调节风门，操作人员可根据情况及时调节排风量；

5.10给排水/废液系统

• 给水管路为英制接口，一路去离子水；
• 排废液系统分为两路，一路排清洗水，一路排放废酸废碱药液；
• 给排水排废接头均为活性连接；

5.11设备电器系统

• 设备采用欧姆龙PLC可编程控制器，控制设备的全部运行过程，即可全自动操作也可转换为手动操作；
• 人机操作界面为触摸屏，操作程序中有手动操作、故障报警、安全保护等功能，各工位有完成提示报警功能；
• 操作界面可设置密码锁定，防止非本岗位人员误操作；
• 设备照明：设备配有照明灯，操作面装有插座；
• 设备整体采取人性化设计，方便操作；并装有漏电保护和声光报警提示装置，保证性能安全可靠；
• 电控部分导线采用耐高温、耐腐蚀的专用导线，可防水耐腐蚀；
• 设备所有处于腐蚀腔中的线缆均通过PE管进行保护，免受腐蚀；
• 所有的电控系统均装有漏电保护器接，并有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；