




特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,
其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体,特种气体销售,其中常用的有20~30 种。
在集成电路制造应用方面具体包括集成电路芯片制程、化学气相沉积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用;在太阳能电池应用方面具体包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池生产工艺和气体应用、薄膜太阳能电池生产工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面具体包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED生产工艺和气体应用;在液晶显示器应用方面具体包括TFT/LCD的应用、TFT/LCD生产工艺和气体应用;在光纤应用方面具体包括光纤应用和光纤预制棒的生产工艺和气体应用。
电子工业用气体统称电子气体,指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体,是微纳电子制造***安全战略产业的关键支撑材料,其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业。
近年来,随着微纳电子***制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展,对电子气体的纯度和一致性要求越来越高,生产特种气体公司,除了应具有5 N (99.999%)以上纯度,还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级,哈尔滨特种气体,气体的品质要求高度稳定且一致。
特种气体 (Specialty gases) :指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。化工特种气体在不同的情况下是不一样的,一般而言是氧气,氮气,二氧化碳,氢气等。特种气体是指稀有气体或超高纯度(99.995% 以上)的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质,它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。
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